当发现氦检漏系统的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。

这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行清洗。具体的清洗方法如下：

先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电及部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电及部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦检漏系统在各个行业的应用：

1.电子行业的应用

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。 

2.真空行业，仪器、仪表行业的应用

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。

3.核工业的应用

铀分离装置、存储装置、核发电装置。

 4.制冷行业的应用

冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

5.不锈钢保温器皿的应用

真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。